光学镀膜机
光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜，眼镜片，光学镜头，冷光杯等，配置不同的蒸发源及膜厚仪，可镀制多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材都可以进行蒸镀，并可以在玻璃表面镀超硬膜。
类别:
描述
产品介绍
光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜，眼镜片，光学镜头，冷光杯等，配置不同的蒸发源及膜厚仪，可镀制多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材都可以进行蒸镀，并可以在玻璃表面镀超硬膜。
机械参数
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型号 |
DZS-900 |
DZS-1200 |
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真空室尺寸 |
900xl050mm |
∮1200x1250mm |
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极限真空度 |
<3x10-4Pa |
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恢复真空抽气时间 |
空载,由大气抽至2xl0-2Pa |
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烘烤系统 |
顶部加热方式.PID控制.量高35C° |
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蒸发源形式及功率 |
电阻式蒸发.2对水冷电极可装2个蒸发舟各5KW |
电阻式蒸发.4对水冷电极可装4个蒸发舟各，5KW |
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高压离子轰击 |
直流3KV. 5KW棒状阴极极，用于镀膜前对工件进行清洗 |
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离子源（可选） |
5KW霍尔离子源.用于镀膜清洗或镀膜过程进行辅助镀艘.有利于提高膜层折射率.牢固度,提高膜层致密性 |
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工件夹具形式 |
球面帽型,单工件盘,旋转5・30r/min 无级变速 |
球面帽型.三工件盘,行星公自转,5-30r/mm. 无级变速 |
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工作气体充气 |
质量流量控制仪器 |
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真空测量系统 |
数昱复合真空计 |
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电气控制装■ |
真空后期系统及电阻蒸发由PLC自动控制,电子束蒸发手动控制.配■人机界面（触摸屏）实行人性化操作 |
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装机功率 |
50 |
70 |
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占地面积（米） |
约 3.5x3 |
约 4x3.5 |
成品
关键词:
大力真空设备有限公司，真空镀膜设备
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