光学镀膜机
光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜，眼镜片，光学镜头，冷光杯等，配置不同的蒸发源及膜厚仪，可镀制多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材都可以进行蒸镀，并可以在玻璃表面镀超硬膜。
类别:
描述
产品信息
光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜，眼镜片，光学镜头，冷光杯等，配置不同的蒸发源及膜厚仪，可镀制多种膜系，对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材都可以进行蒸镀，并可以在玻璃表面镀超硬膜。
机械参数
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型号 |
DZS-900 |
DZS-1200 |
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真空室尺寸 |
ɸ900xl050mm |
ɸpl200xl250mm |
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极限真空度 |
<3xlO*4Pa |
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恢复真空抽气时间 |
空裁由大气抽至2xlO=Pa |
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烘烤系统 |
顶部加热方式.PID控制.最高350℃ |
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蒸发源形式及功率 |
电阻式蒸发.2对水冷电极可装2个蒸 发舟各5KW |
电阻式蒸发.4对水冷电极可装4个蒸发舟.各 5KW |
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高压高子轰击 |
直流3KV. 5KW棒状阴极.用于镀膜前对工件进行清洗 |
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离子源（可选） |
5KW霍尔离子源.用于镀膜清洗或镀膜过程进行辅助镀膜.有利于提高膜层折射率，牢 固度.提高膜层致密性 |
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工件夹具形式 |
球面帽型.单工件盘.旋转5-30r/min 无级变速 |
球面帽型.三工件盘.行星公自转.5-30r/min, 无级变速 |
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工作气体充气 |
质量流量控制仪器 |
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真空澳|量系统 |
数显复合真空计 |
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电气控制装置 |
真空后期系统及电阻蒸发由PLC自动控制.电子束蒸发手动控制.配置人机界面（触摸 屏）实行人性化操作 |
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装机功率 |
50 |
70 |
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占地面积（米） |
约 3.5x3 |
约 4x3.5 |
成品
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