电子枪蒸发镀膜操作工艺
时间:
2023-07-31 09:55
高压电子枪发射的电子束的密度非常高。如果电子束落点没有被适当地控制，则电子束不能被偏转到金属锭上，这可能加热涂覆室壁和其他区域。因此，遵循电子枪的操作顺序是重要的。
1) 确定了一般电子枪的枪电压，因此首先打开磁场电源并将其调整到预定的磁场电流。设置磁场强度H以确定电子束的轨迹，确保电子束的偏转半径按照预定的轨迹运行，从而使电子束光斑落在塌陷内部的金属锭上。
2) 打开喷枪的高压电源，喷枪电压为设定值。3) 打开钨丝加热电源，缓慢加热钨丝。
4) 逐渐增加钨丝的加热电流，在塌陷内部的金属锭表面上可以看到电子束斑点。
5) 增加灯丝电流以预熔化金属锭，增加电子束电流以预熔化金属锭，可以看到金属液体的滚动。如果束斑不在金属锭的中心，则可以调节磁场电流以稍微改变电子束的偏转半径，使得电子束斑正好落在金属锭的中心。
6) 继续增加灯丝电流，增加电子束功率，并充分预熔金属锭。然后，打开塌陷上方的挡板，蒸发的膜材料飞向工件以形成膜层。
在e型电子枪的操作中，如果不预先给出磁场电流，电子束不会偏转，有可能直接射在其他地方，烧毁某些部件。预定磁场电流的目的是使电子束一出来就按照预定轨道偏转。
为了扩大电子束光斑的范围，电子枪电源还配备了x-y扫描系统，使电子束在金属锭表面扫描，扩大金属熔化区的蒸发面积，增加金属的蒸发量，从而提高沉积速率。
在工业化过程中，需要固定枪电压、磁场电流、钨丝加热电流、扫描条件，以及保证一定的冷却水温度和流量，以及金属锭的散热，以保证金属蒸发的稳定性; 否则，很难保证薄膜质量的可重复性，特别是在反应和沉积化合物薄膜时，必须固定金属的蒸发，以确保化合物薄膜的组成满足化学计量比。
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